Ⅳ族元素掺杂相关硕士博士期刊学术论文

直拉单晶硅片是集成电路的基础材料,其缺陷和机械强度对集成电路的成品率和性能有重要影响。因此,控制直拉硅片中的缺陷以及改善直......