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Ⅴ薄膜相关论文
非平衡磁控溅射法制备金属Ⅴ薄膜
本实验采用非平衡磁控溅射法在Si基板上制备金属V薄膜,拟研究工艺参数对V薄膜结构的影响,并探究V薄膜的性能与结构之间的联系。用X......
学位
非平衡磁控溅射
Ⅴ薄膜
择优取向
微观结构
力学和电学性能
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