一级光栅相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

一级光栅相关论文

975nm分布反馈激光器一级光栅的制备

优化设计了975nm分布反馈激光器的一级布拉格光栅结构。将纳米压印技术与干法刻蚀工艺相结合制备周期为148nm的光栅结构,通过优化......

期刊

半导体激光器分布反馈一级光栅干法刻蚀

808nm半导体分布反馈激光器的光栅设计与制作

半导体分布反馈(DFB)激光器的核心工艺之一是分布反馈光栅的制作,设计了808 nm DFB激光器的一级光栅结构。利用纳米压印技术与干法......

期刊

半导体激光器分布反馈一级光栅纳米压印干法刻蚀湿法腐蚀

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