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一维基准栅相关论文

用计量型AFM对一维纳米基准栅的标定及不确定度估计

利用轻敲模式的计量型AFM对公称栅距为240nm一维基准样板进行了标定,在充分分析AFM的结构和特性、测量过程、数据处理的基础上,得......

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一维基准栅计量型原子力显微镜纳米计量不确定估计 one-dimensional reference grating metrological atomi

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