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三维叉指电容式湿度传感器结构设计与性能研究
不断革新的半导体工艺促使传统传感器不断向着小型化、智能化、多功能化发展,其中,对电容式微型气体/湿度传感器的研究也在MEMS技......
学位
三维叉指
湿度传感器
电容
电镀
深硅刻蚀
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