本文介绍了一种微细加工新方法 ＬＩＧＡ（ｉｎ Ｇｅｒｍａｎ　ＬＩｔｈｏｇｒａｈｙ，ＧａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇＡｂｆｏｒｍｕｎｇ）技术的基本原理及特点．同时还简单说明了这种方法的技术要求．报道了国内外在这方面开展研究的成果......