介绍两种不同结构形式的基于电子隧道效应的ｎｍ级三维轮廓仪。其纵向分辨率可达０．０２ｎｍ，横向分辨率可达０．２ｎｍ，扫描范围分别达到４０μｍ×４０μｍ和１４０μｍ×......

在强调表面三维形貌测量重要性的基础上 ,介绍了利用扫描白光干涉法测量表面三维微观形貌的原理及三维轮廓仪测量系统的构成。通过......