三面互检相关论文
提出了一种基于反向共轴的大口径平面光学元件面形测量方法.将双位移传感器反向共轴线扫描测量模式和多角度旋转三面互检技术结合,......
研究了光学平面绝对检验的干涉测量方法:三面互检法。该方法需要三个被测平面,两两组合测量,就能够得到被测平面在通过其中心两个......
通过对子孔径拼接中系统误差放大效应的分析研究，提出一种修正由干涉仪参考平晶引入的系统误差的方法。该方法只需利用三面互检获取......
