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介绍了上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线的基本情况.为实现光束线的光束偏转和光路切换,完成了其偏转镜系统的研制.分析了偏转镜系......
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大科学装置是科学技术发展的重要平台,其建设主要在政策和资金两方面受到国家目标的影响。作为我国大科学装置典型代表的上海同步......