两步刻蚀法相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

两步刻蚀法相关论文

两步刻蚀法制备高性能增强型硅基Al2O3/AlGaN/GaN MISHEMT器件

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会议

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两步刻蚀法去除GaN-LED刻蚀中引入的损伤

通过实验方法找出了去损伤刻蚀的最佳工艺参数，并研究了利用ICP两步刻蚀法去除刻蚀损伤的实验过程及结果．从实验结果可以看出，当ICP功......

期刊

两步刻蚀法 GaN-LED 刻蚀损伤 PL特性 I-V特性

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