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中频对向靶磁控溅射制备超薄ZnO薄膜及其在太阳电池中的应用
中频溅射制备ZnO薄膜可改善射频磁控溅射方式中沉积速率过慢的缺点。对于多层薄膜的制备,对向靶的设计可使样品避开等离子体直接轰......
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ZnO薄膜
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