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定向凝固多晶硅在微纳尺度下的力学性能研究
采用纳米压痕测试系统测试了定向凝固多晶硅沿晶体生长方向横/纵截面的硬度与弹性模量,分析了其受组织各向异性影响的变化规律。使......
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纳米压痕测试系统
多晶硅
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临界压痕尺寸
定向凝固
nano-indentation polysilicon fracture toughness cr
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