二维零位光栅相关论文
纳米时代的来临给人们探索和认识微观世界提供了更多的机会，同时也伴随着更大的挑战。纳米测量及定位技术在各个领域中的应用越来越......
随着纳米科学、精密工程、微机电系统等领域的不断发展，精密测量成为测量学中一个重要分支。差动共焦显微技术作为一种非接触式测量......
搭建了能够在二维方向上实现纳米级定位的二维自动定位系统.首先,加工了栅格间距为5 μm的64×64编码的透射式二维零位光栅;然......
二维零位光栅可以给出标志二维坐标系下绝对零位的脉冲,但由于编码设计的计算量巨大,产生二维零位光栅的编码非常困难。本文结合全......
随着微电子工业和纳米加工技术的快速发展，对超高精度的定位基准的要求也越来越高．提出一种基于特殊编码的非周期性二维零位光栅的平......
随着微电子工业和纳米加工技术的飞速发展，对超高精度的定位基准的要求也越来越高，绝对坐标系下的参考基准是非常重要的。在国家教育......
