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五卤化钽相关论文

化学气相沉积法制备Ta2O5薄膜的研究进展

Ta2O5是重要的介电材料和光波导材料。从前驱体的选择方面综述了化学气相沉积法制备Ta2O5薄膜的研究进展，说明了五卤化钽和Ta金属有......

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化学气相沉积 TA2O5 薄膜五卤化钽金属有机化合物 CVD Ta2O5 film tantalum halide metallorganic compo

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