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亚μm分辨率相关论文

亚微米并行激光直写系统的建模及仿真研究

提出了一种基于强度调制型空间光调制器(SLM)的并行激光直写系统,建立了该系统的数学模型.并以闪耀光栅的制作为例,给出了该并行激......

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并行激光直写系统亚μm分辨率空间光调制器 SLM 数学模型计算机仿真 Computer simulationMathematical modelsOpti

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