介电常数栅介质相关硕士博士期刊学术论文

随着器件尺寸的进一步缩小，栅介质正变得越来越薄，由于隧穿效应引起的栅介质漏电流将急剧上升。为了抑制栅漏电流，高介电常数(high-k)......