介质充电相关论文
MEMS开关是最常见的RF MEMS控制元件,是RF结构中一个关键的MEMS器件。长期可靠性是目前制约MEMS开关商业化进程中的一个主要问题。......
“粘连”失效常见于电容式静电驱动MEMS器件，通过建立“粘连”失效模型分析得出静电引力驱动机制导致的介质充电是其失效的根本原因......
相对于电化学超级电容器,静电式电容器具有更高的功率密度和可靠性,但能量密度过低。本研究提出制备基于高介电常数薄膜CaCu3Ti4O1......
针对射频微机电系统（RFMEMS）开关工作时因介质充电而发生“粘连”失效的问题，提出了利用静电斥力驱动替代传统的静电引力驱动方式，使RF......
