仿生垫相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

仿生垫相关论文

基于葵花籽粒结构的仿生抛光垫的设计制造及运动机理的研究

化学机械抛光(CMP)作为集成电路制造的核心技术被广泛应用于集成电路制造过程中硅片表面的局部和全局平坦化加工。而在集成电路制......

学位

化学机械抛光仿生垫切削轨迹材料去除率叶序

基于叶序仿生抛光垫的化学机械抛光的运动分析

为了改善化学机械抛光的接触状态和被加工工件的表面形态，基于生物学的叶序理论设计了仿生结构的抛光垫。从单颗磨粒切削理论出发，建......

期刊

化学机械抛光仿生垫材料去除率叶序

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