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感应耦合等离子体刻蚀InP/InGaAsP二维光子晶体结构的研究
为实现基于InP/InGaAsP材料的二维光子晶体结构低损伤、高各向异性的干法刻蚀,研究了对InP材料基于Cl2/BCl3气体的感应耦合等离子......
期刊
光子晶体
InP/InGaAsP
感应耦合等离子体
Cl2/BCl3
低偏压刻蚀
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