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低温气相沉积相关论文
低温气相沉积薄膜及其摩擦学性能研究
工艺性能良好、摩擦学特性满足工程应用实际需求的低温气相沉积工艺的研究,为低温回火材料及聚合物等温度敏感材料零部件的表面改性......
学位
低温气相沉积
磁控溅射
离子束注入辅助蒸发沉积
薄膜
摩擦学性能
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