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低温物理沉积相关论文
衬底温度对MgxZn1-xO晶体薄膜表面形貌的影响
采用低温物理沉积技术在二氧化硅衬底(SiO2/Si(100)生长出了MgxZn1-xO晶体薄膜.用原子力显微镜(AFM)测得不同衬底温度下晶体薄膜的表面平......
期刊
低温物理沉积
MgxZn1-xO晶体薄膜
表面形貌
REBE
MgxZn1-xO thin films
surface morphology
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