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圆片级低真空封装的MEMS压电振动能量收集器结构设计
MEMS低真空封装技术能为MEMS器件的可动部分提供低阻尼环境,降低能量损耗,有效提高器件的能量转换效率,具有重要的研究意义和应用......
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MEMS
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