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基于低速面阵CCD的正弦相位调制干涉测量
正弦相位调制(SPM)干涉测量技术用于表面形貌测量时,需要帧速高于300 frame/s的图像传感器,同时要求调制信号频率与图像传感器帧速......
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低速CCD
表面形貌检测
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