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研究了双框架微机械陀螺的厚度检测、控制技术,在此基础上采用该实验室自对准的准LIGA工艺制备出陀螺结构,其活动区面积为1.0 x1.0mm......
求解了粒子在扁椭球谐振子附加低频周期驱动八极形变势场中运动时的哈密顿正则方程.通过粒子在相空间的轨道运动,z方向的功率谱以及......
本文阐述的是一种新型的在30Hz~150Hz的振动频率进行驱动下的低频压电马达,它与现已成功开发并获得应用的超声波马达一样,都是利用振......