低频PECVD 相关硕士博士期刊学术论文

利用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）工艺,在不同射频功率,不同反应气压条件下制备了氮化硅薄膜。研究了低频工艺中氮化硅薄膜的沉......