体硅加工工艺相关论文
在对国内外微机械移相器和开关器件研究情况及应用背景进行充分调研的基础上，本论文针对基于体硅工艺的微机械分布式移相器以及可以......
本文简要介绍了具有高新技术特征的微机电系统，以及一种典型的微机电系统器件——微加速度计。......
