侧向钻蚀相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

侧向钻蚀相关论文

ICP刻蚀技术在808nm激光器中的应用

主要分析了不同工艺参数对于刻蚀图形的影响，包括刻蚀侧壁角度，刻蚀表面平整度，选择比，侧向钻蚀等几个方面，及ICP刻蚀对激光器性能的影......

期刊

ICP 选择比侧向钻蚀刻蚀损伤 Inductively coupled plasma Selectivity Linewidth loss Etchi

用于制备高机械可靠性RF MEMS开关的新型工艺

对介质桥串联接触式RFMEMS开关的制备工艺进行了研究。介绍了开关的结构，说明了采用常规制备工艺容易在桥膜上形成应力集中，严重影响......

期刊

MEMS开关接触式开关机械可靠性侧向钻蚀寿命

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