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俄歇深度分析相关论文
装饰薄膜氮化锆的中频反应磁控溅射沉积工艺的研究
现代科学技术的发展对材料的性能的要求日益提高,利用溅射薄膜对材料表面防腐、表面装饰和各种工模具的表面强化是提高材料性能的......
学位
沉积工艺
中频反应溅射:Zr-N薄膜
颜色
沉积速率
俄歇深度分析
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