俄歇能谱深度分布相关硕士博士期刊学术论文

利用伏安特性和俄歇能谱深度分布研究了快速热退火对Ti／Al—GaN接触的影响，氮气中600C退火60s可以获得欧姆接触．实验结果表明，退火温度......