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倒阱技术相关论文
双电荷离子注入的倒阱技术
本文从VLSl CMOS倒阱意义出发,结合我所中能离子注入的双电荷产生及其应用研究,介绍了在NV—3204注入机上实现近400keV的B受主高能......
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离子注入
双电荷
倒阱技术
Double-charge implantation
Retrograde P-well
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