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倾斜旋转紫外光刻相关论文
倾斜旋转紫外曝光在微针制备上的应用
采用倾斜旋转光刻的方法开展圆锥形异平面微针制备技术研究.通过改进实验室现有设备,以SU8光刻胶结构为模具,通过聚合物材料间的图......
期刊
三维微加工
异平面微针
倾斜旋转紫外光刻
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