倾斜紫外光刻相关硕士博士期刊学术论文

中阶梯光栅具有超高分辨率的特点,在光谱仪、光通信等领域都有着广泛的应用。根据光栅理论,对阶梯光栅,90°顶角的三角形槽型是获......