偏压形核相关论文
利用偏压增强MPCVD法成功地实现了金刚石薄膜在附有SiO2掩膜图形的镜面抛光的Si(100)上的选择性织构生长，列举了最佳偏压成核与选择......
在微波等离子体化学气相沉积装置中,采用正交试验法研究金刚石在镜面抛光的Si(100)面上的偏压形核过程中,形核时间、偏压电压、气......
主要介绍金刚石薄膜在Si上异质外延的研究状况.综述了外延金刚石薄膜的偏压形核,SiC过渡层的影响及一些实验参数对外延薄膜质量的......
