通过微波等离子化学气相沉积法（ＭＰＣＶＤ）在镜面抛光Ｓｉ（１００）上生长出高品质的具有（１００）织构的金刚石薄膜。列举了最佳成核与生长条件。ＳＥＭ和Ｒａｍａｎ光谱对所得样品进......