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傅里叶变换红外透射光谱相关论文
掺氮类金刚石薄膜的显微结构和光谱学研究
本文利用射频磁控溅射法,以高纯N2、Ar混合气体为溅射气体,用高纯石墨靶在Si(100)基片上制备出掺氮的类金刚石薄膜(DIE:N)。拉曼光谱(Raman......
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射频磁控反应溅射
掺氮类金刚石薄膜
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