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超声焊接作为一种新型连接工艺,在众多领域中得到了广泛的应用。为简化传统超声焊接装置的庞杂结构并拓展焊接振子的频域范围,本文......
超声焊接作为重要的连接工艺,目前在许多领域都有成功的应用实例。现有的超声焊接技术主要集中在传统低频超声域,对于兆赫级高频超......
本文探讨了红外衬底碲锌镉材料晶片在化学抛光后的去蜡、去胶工艺的自动化流程实现方案.由于红外衬底材料的脆弱特性,以六轴机器人......
在匹配层结构压电换能器的基础上,通过对兆声压电振子的振动模式进行控制,在横向尺度上实现了兆声抛光工具头振动振幅的均匀化,进......
为了改善硅片化学机械抛光效果,提高硅片表面质量,一小振幅兆声振子引入化学机械抛光系统,通过对比表面粗糙度大小和分布,发现该振......
为了将兆声引入化学机械抛光,进一步提高抛光效率,深入研究了化学机械抛光中兆声对抛光液流动的影响。首先测试抛光头工作表面的轴......
随着红外探测器件制备工艺的不断发展,人们对InSb晶片表面质量的要求也越来越高,但是晶片在生产过程中不可避免地会引进各种杂质。......
栅氧前清洗是栅氧工艺的重要部分,本文介绍二种适用于亚微米/深亚微米的清洗工艺:采用稀释化学试剂和兆声波清洗的VCS清洗工艺和IM......
用基于改进的RCA清洗液结合兆声清洗法和离心喷射法清洗抛光的硅片 ,干燥后用激光扫描法测试抛光硅片表面颗粒 .结果表明 ,改进的R......
本文以声波多层透射理论为基础,设计并制作了兆赫频的超声复合抛光振子,以集成电路衬底材料单晶硅片为抛光对象,将兆赫频的超声振......
