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有机光功能材料因具有优异的光学性质而在光刻，荧光温度传感以及生物荧光探针等领域具有日益广泛的应用，因此制备新型光功能材料并对......
光刻胶是一种具有光敏性的薄膜材料，它是光电信息产业中微细加工技术的关键性基础材料。通常光刻胶由成膜树脂、光致产酸剂、溶剂和......
根据下一代光刻技术发展趋势和2005年国际半导体技术路径图(ITRS)给出的技术路径,浸没式ArF(氟化氩)光刻是实现特征尺寸(CD,Critic......
投影式光刻机是微电子产业中极大规模集成电路的加工设备。照明系统和投影物镜系统是投影式光刻机的重要组成部分，其性能的好坏对光......
