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光刻直写技术相关论文
基于Intel 8254的准分子激光外触发器的研究
介绍了一种利用可编程Intel 8254定时器/计数器在微机上实现准分子激光微加工过程激光外触发控制的新方法.针对准分子激光的光刻直......
期刊
准分子激光
Intel8254定时器/计数器
激光微加工
光刻直写技术
触发控制器
excimer laser direct drawing:programma
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