光刻胶图形相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

光刻胶图形相关论文

极紫外光刻掩模热变形及其对光刻性能的影响

极紫外光刻是实现45nm及其以下节点的主要候选技术之一,随着图形特征尺寸逐渐减小,曝光过程中掩模热变形对光刻性能的影响越来越严......

学位

极紫外光刻热变形有限元方法掩模光刻胶图形

应用微波技术抑制光刻胶图形的坍塌与黏连

针对显影工艺中水的表面张力导致的高高宽比抗蚀剂图形的坍塌及黏连,提出了一种基于微波加热的干燥技术来有效改善纳米抗蚀剂图形......

期刊

电子束光刻光刻胶图形坍塌黏连高宽比微波加热

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