光学干涉方法相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

光学干涉方法相关论文

干涉法测量器件表面特征缺陷的计算机模拟

光学干涉方法测量器件表面微小缺陷是一种有效的实验方法.对于多样性结果的唯一性分析,借助于计算机模拟,得到特征缺陷的干涉图样......

期刊

表面特征缺陷缺陷测量光学干涉方法计算机模拟干涉图样缺陷尺度变化 interferencedefectcomputer simulation

看过本文同时还关注