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光学薄膜计算相关论文
光致抗蚀剂曝光的虚膜插入模拟技术
提出了在各膜层之间插入虚膜的计算方法 ,导出了相应的光学薄膜传输矩阵 .该方法使得膜与膜之间解耦 ,并便于在计算机上存储和计算......
期刊
光学传输矩阵
抗蚀剂曝光
光学薄膜计算
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