光栅测微器相关硕士博士期刊学术论文

ＤＣＭＴ的主测微器采用一种活动Ｖ形光栅扫描模式．根据对人造准直光源像的测量分析，研究了主测微器扫描测量的系统精度．研究结果表明．主测微器系......