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光谱反射技术相关论文
基于光谱反射技术的梯形刻面MEMS高深宽比沟槽深度测量仿真分析
高深宽比沟槽是一种重要的微机电系统(MEMS)结构,沟槽的加工刻蚀过程中,由于工艺的影响会在沟槽顶部出现期望之外的梯形刻面,其对......
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MEMS
光谱反射技术
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