光谱椭圆偏振仪相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

光谱椭圆偏振仪相关论文

SiO2/Si膜厚标准样品校准相调制型光谱椭偏仪研究

椭圆偏振仪(或简称椭偏仪)在薄膜研究领域应用广泛.文章主要研究了相调制型光谱椭偏仪光路准直及参数优化过程,并通过硅上二氧化硅......

期刊

薄膜校准光谱椭圆偏振仪膜厚标准样品

二氧化锆栅介质薄膜光学及电学特性研究

采用反应RF磁控溅射法在氧气和氩气的混合气氛中制备了具有较高介电常数、较宽光学禁带间隙的ZrO2薄膜。利用变角度光谱椭圆偏振仪......

期刊

光谱椭圆偏振仪介电常数 ZrO2薄膜光学禁带间隙

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