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基于输入整形器的公转电机振动抑制
光刻机是超高精度控制系统,需要实现纳米级的运动与定位精度。而在光刻系统的换台过程中,公转电机处于核心位置,对其性能要求比较......
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公转电机
输入整形器
粒子群优化算法
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