冰冻固结磨料抛光垫相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

冰冻固结磨料抛光垫相关论文

开槽冰冻固结磨料抛光微晶玻璃的工艺研究

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期刊

开槽冰冻固结磨料抛光垫微晶玻璃去除率正交试验

冰冻固结磨料化学机械抛光单晶硅片的基础研究

随着超大规模集成电路(ULSI)的发展,芯片的集成度越来越高,因此,对于其基底材料硅片的加工要求也越来越高,不仅要求获得纳米级面型......

学位

单晶硅片脆塑转变纳米磨料冰冻固结磨料抛光垫温度场冰冻固结磨料CMP 表面粗糙度材料去除率

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