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冰粒型固结磨料抛光垫相关论文
冰粒型固结磨料抛光垫及其研抛性能基础研究
近年来,随着生产和科技的发展,硬脆晶体特别是半导体材料,在电子、光学、仪器仪表等诸多领域应用越来越广。目前,应用于硬脆晶体的......
学位
硬脆晶体
冰粒型固结磨料抛光垫
微细颗粒分散
去除率
表面粗糙度
冰粒成型机理
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