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冷阴级材料相关论文

热退火对射频反应溅射氮化铝薄膜场电子发射的影响

以氮气为反应气体,用射频反应溅射方法制备了AlN薄膜,结合XPS和XRD表征考察了热退火后处理对样品场电子发射性能的影响.实验表明,......

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AIN薄膜场电子发射热退火氮化铝薄膜射频反应溅射冷阴级材料 AIN film electron field emission annealing hy

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