分离靶真空电弧离子镀相关硕士博士期刊学术论文

由于Ti-Al合金具有比纯Al高的熔点,在一定程度上减少了大颗粒的产生,因此现今真空电弧离子镀TiAlN膜层技术多采用Ti-Al合金靶。但......