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本文采用离子束辅助沉积技术,制备了不同成分梯度的一系列(Ti1-xAlx)N膜(其中x=0.16~0.44),并利用刮剥式结合强度测量方法,对薄膜成分对结合强度、内应力、硬度......
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本文介绍了薄膜结合强度测量的刮剥式方法的原理和特点,以及以该方法为基本测量手段、兼可使用其它多种方法的多功能刮削式薄膜结合......
本文介绍了新型的、可用于硬质薄膜结合强度测量的刮剥式结合强度测量方法及其装置,利用刮剥法测量了在不同基底(硬质合金和陶瓷基底......